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SPM像扫描隧道显微技术（scanning tunnelling microscopy）一样，通过测量两者之间的电流，或者像原子力显微镜一样，通过测量两者间微小的作用力，来获取表面的结构图像。探针与材料表面的相互作用要受到基础物理学定律的约束，这会限制SPM可达到的分辨率，尽管如此，新型低噪声设备对表面原子的位移和键长变化的测量数值，倒置材料显微镜价格，误差要小于10皮米（pm，1pm=10-12m）。

扫描显微镜1981年，Allen and Inoue(艾伦及艾纽)将光学显微原理上的影像增强对比，倒置材料显微镜报价，至此，人们认为显微镜的发展已趋于。1988年，Confocal(共轭焦)将扫描显微镜推向了市场。「酸甜科技史」显微镜的原理是什么？显微镜发展史了解一下超分辨荧光显微镜2014年，美国霍华德休斯***研究所的Eric Betzig，德国Max Planck生物物理化学研究院的Stefan W. Hell和美国斯坦福大学的William E. Moerner研发的超分辨荧光显微镜摘得了该年度的诺贝尔奖。传统光学显微镜的分辨率长期以来难以突破0.2微米的物理限制，而超分辨率荧光显微镜绕过了这一限制，使得光学显微镜能一窥纳米世界的奥妙，从此荧光显微镜进入到一个更深层次领域！